分子真空泵（以下简称分子泵）的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。

　　分子泵结构图用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵。

　　的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进，出现了涡轮分子泵。

　　内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。

　　分子泵分类：（a）涡轮分子泵 （b）复合分子泵涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达

　　10-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵。

　　立式涡轮分子泵的结构组成复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体，能在很宽的压力范围

　　10-6-1Pa内，具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

　　半导体产业反应气体的工艺条件：1-离子注入；2-反应蒸发离子喷镀；3-反应溅射；4-反应离子刻蚀；5-P刻蚀；6-等离子体化学气相沉积；7-低压化学气相沉积

　　定期对分子泵进行巡检，对泵体温度、噪声、振动等方面进行检查，及时发现设备故障，对于接近或达到保养周期的分子泵及时与厂家取得联系。◆

　　对于故障分子泵，第一时间关闭分子泵进气口处的挡板阀或者插板阀，切断分子泵与真空腔室的连接。◆

　　如果有气体吹扫接口或充气口等，请在分子泵破坏真空后断开相关的连接管路；如果无上述充气口，请在保证分子泵进气口处阀门、前级接口与预抽泵隔断阀门无泄漏的前提下，缓慢打开前级接口，往分子泵内充气，使分子泵内、外压力保持一致；当系统有多台分子泵并联使用时，一定要在充气前确保充气动作对其他分子泵不造成影响，否则请在工艺过程完成、整机停机后再进行充气操作。◆

　　对于油润滑型分子泵，需将泵静止半小时后，拆下油池，卸下润滑油后，再进行包装发运。其他分子泵可直接进行打包发运，打包时尽量采用原包装。

　　分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？●

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘；解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘。

　　○分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？●

　　分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？●

　　电源本身有接地线，傲世皇朝招商客服，只需要保证有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

　　造成分子泵转子、定子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：①误操作：比如突然的破真空，因为转子与定子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子定子之间的摩擦，导致打碎。

　　②是异物掉入：没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

　　④前级泵的效率差：我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

　　⑤分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。